材 料:Ge (鍺)
設計波長:8—14nm
外型公差:+0.0/-0.1mm
厚度公差:±0.05mm
面 形:λ/[email protected]
局部面形： ＜0.2
光潔度:40/20
偏 心:<1'
有效孔徑:>98%
倒 邊:<0.2×45°
鍍 膜: 按客戶要求
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材 料:Ge (鍺)
設計波長:8—14nm
外型公差:+0.0/-0.1mm
厚度公差:±0.05mm
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局部面形： ＜0.2
光潔度:40/20
偏 心:<1'
有效孔徑:>98%
倒 邊:<0.2×45°
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