高精度探針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量,提供易於操作的遙控箱,用戶可以通過這兩個操縱桿選擇合適的軸進行移動,在按鍵上標有易於理解的圖形顯示軸的選擇狀態
| 型號 | CS-5000 | CS-5000L | |
| 貨號(mm) | 525-886 | 525-905 | |
| 貨號(inch) | 525-896 | 525-915 | |
| X1軸測量范圍/分辨率 | 200mm/6.25mm | 200mm/6.25mm | |
| Z1軸測量范圍/分辨率 | 標準探針 | 6mm/2nm | 12mm/4mm |
| 二倍長型探針 | 12mm/4mm | 24mm/8mm | |
| Z2軸垂直行程 | 250mm | 250mm | |
| X1軸 直線度 | 標準探針 | (0.05+0.5L/1000)um | (0.1+1.5L/1000)um |
| L為驅動長度(mm) | 二倍長型探針 | (0.1+0.5L/1000)um | (0.2+1.5L/1000)um |
| 指示精度(20℃) | X1軸 | ±(0.2+L/1000)um | ±(0.2+L/1000)um |
| L為驅動長度(mm)H為測量高度(mm) | Z1軸 | ±(0.2+L/100)um | ±(0.3+12HI/100)um |
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