實現瞭小型機體的格裡諾（Greenough）光學系統
V字形光路使物鏡的尖端形狀能設計成細長形，也適合與設備組裝使用。工作性能優越的小型機體誕生瞭。
實現瞭高度平直度和較深的焦點深度
最佳內向角的格裡諾光學設計，使高度平直度和較深的焦點深度能同時實現。能從前面到內部正確對焦凹凸很大的樣品，得到充滿立體感的觀察圖像。
實現瞭忠實於樣品的觀察影像
自然的色彩再現功能，能夠觀察到樣品原來的顏色。影像平面彎曲的抑制，能更為逼真的觀察到樣品的形狀。此外，變焦比為6.7（0.67倍～4.5倍）［SZ61］,5（0.8倍～4倍）［SZ51］，性能卓越。
對應ESD，防止器件受到靜電影響
機體和主要附件塗以防靜電材料，能夠快速去除靜電。這樣就能夠防止靜電破壞樣品。
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