配置方式
立式、臥式配置
平面總成,球面總成
靜態測量,相位移調制測量
附件
標準平面和球面參照鏡
與ZYGOTM參照鏡相容
標準衰鏡
幹涉儀支撐/調整用四腳座
水平七軸調整座
IntelliWave TM分析
幹涉條紋靜態與相位移調制分析
完整的分析工具、影像加工、以及幾何影像轉換
幹涉圖轉換成光學(OPD)或表面地圖(surface map)
自動反復測量或自動化分析功能
相互連接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel軟件
1 蜂谷值(PV ,Peak-to-Valley) 是取得長度上,測量高度最高點與最低點間的距離
2 均方根值(RMS,Root-Mean-Square)是取樣長度上,距離高度中心線的均方根偏差值。
3 三平面檢定方(3-Flat Test )最使用三個平面參照鏡相互檢測的測量方式。
4 重復性(Repeatability)的定義:對相同的組件進行100次量測,而每組量數據是由20個數據平均後取得,100組測數據統計分析,定義重復性即是一個標準差值。
型錄 | AK-100 Fizeau type |
激光光源 | |
波長/ 功率 | He-Ne ,632.8nm.2mw |
測量光束直徑 | 4英寸(102mm) |
偏振性 | 圓偏振動(Circular Polarization) |
相幹長度 | >100公尺 |
控制方式 | |
觀察調整 | 4On/off 開關 |
變焦 | 旋轉度盤 |
對焦調整 | 旋轉鈕 |
光強調整 | 旋轉鈕 |
模式切換 | 手動切換 |
光 學 部 分 | |
變焦范圍 | 1X—6X |
對準調整 | 二點調整 |
觀察調整角 | ±1.8度 |
預熱時間 | < 30分鐘 |
視頻規格 | |
攝像機 | RS170, 640x480像素 |
顯示器 | 計算機含LCD屏幕或視頻監視器 |
電氣部份 | |
電 源 | 110/240 Volts ,50/60Hz (50 watts) |
機械部份 | |
尺寸 | 338*190*254mm |
重量 | 14 kg (39 lb) |
測量性能(應用 IntelliWAare TM軟件量結果) | |
系統準確度(三平面檢定法)(3) | λ/100 , 峰谷值(1) |
峰谷值重復性(4)(PV Repeatability) | λ/3 00 , 峰谷值(1) |
均方值重復性能(2)(4)(RMS Repeatability) | λ/2,000 |
幹涉條紋解像度(Fringe Resolution ) | 180條 |
新手教學
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