10702A，幹涉儀，平面鏡，線性，差分，1 軸，6 mm 光束，激光幹涉儀定位測量，10702

Agilent 10702A 線性幹涉儀是用於線性測量的基礎型幹涉儀，可執行一般的單軸測量。

10702A 包括一個 10703A 逆向反射鏡，作為參考反射鏡。 它還需要另一個 10703A，即可組成完整的線性測量光學儀器 幹涉儀不能用來彎曲光束。 如果幹涉儀是移動器件，則必須訂購 10702A 選件 001。 

差分操作要求移除 10703A 逆向反射鏡並將其連接至感興趣的參考平面。

平面鏡操作要求使用 10722A 平面鏡轉換器和 10703A 逆向反射鏡。 添加這些部件可將 10702A 變成 10706A 平面鏡幹涉儀。 這些部件可測量平面鏡的軸向位移。 

10702A 還可通過添加一個 10722A 平面鏡轉換器和一個 10723A 高穩定度適配器，轉變成 10706B 高穩定度平面鏡幹涉儀。 

• 應用： 通用
• 迥然不同的新特性： 低成本
• 軸數： 1
• 最大光束直徑： 6 mm
• 光束隔離： 12.7 mm（0.5 英寸）
• 重量： 232 克（8.2 盎司），配有選件 001 時：246 克（8.7 盎司）
• 基本光分辨率： λ/2（316.5 nm，12.5 µin）
• 系統分辨率： λ/64（10 nm，0.4 µin），使用 32 倍電子分辨率擴展
• 系統分辨率： λ/512（1.2 nm，0.047 µin），使用 256 倍電子分辨率擴展
• 反射鏡： 10703A
• 使用的安裝架座： 10711A
• 參考： 無
• 可調諧配置： 支持。 需要選件 001