• 光束

       • 尺寸： 6 mm（0.24 英寸）

       • 分離： 11 mm（0.43 英寸）

• 分辨率

       • 基本光學： λ/2（316.5 nm，12.5 µin）

       • 系統分辨率：

       - λ/64（10 nm，0.4 µin），以 32x 電子分辨率擴展為基礎
       - λ/512（1.2 nm，0.047 µin），以 256x 電子分辨率擴展為基礎

• 重量： 312 克（11 盎司）
• 反射鏡： 10767A
• 所用底座： 10785A

Agilent 10766A 線性幹涉儀適用於一般的單軸測量；可運用在幹涉儀作為運動部件的情況（而不是測量反射鏡）。 它擁有堅固、耐熱的不銹鋼外罩。

10766A 在光學結構上與 10702A 選件 001 相同，但是擁有更堅固的外罩和公制螺紋。

10766A 可把 10767A 線性反射鏡作為參考反射鏡使用。 為完成線性光纖套件的測量，要求使用 10703A。 幹涉儀無法使光束轉向， 但可作為運動部件（無需修改）。

差分操作要求移除 10767A 線性反射鏡，並將其放置在感興趣的參考面。