主要特性與技術指標
- 光束
• 尺寸： 6 mm（0.24 英寸）
• 分離： 11 mm（0.43 英寸）
- 分辨率
• 基本光學： λ/2（316.5 nm，12.5 µin）
• 系統分辨率：
- λ/64（10 nm，0.4 µin），以 32x 電子分辨率擴展為基礎
- λ/512（1.2 nm，0.047 µin），以 256x 電子分辨率擴展為基礎
- 重量： 312 克（11 盎司）
- 反射鏡： 10767A
- 所用底座： 10785A
新手教學
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