Agilent 10735A 三軸幹涉儀可用於需要線性和角度控制的多軸測量應用。 它在單一套件中結合瞭光具座功能、多個光束轉向鏡、分光鏡以及三個幹涉儀。 幹涉儀把入射激光束分成三個光束，以便測量直線距離、傾斜和偏轉或直線距離、搖擺和偏轉。 三種線性測量可為兩種角度測量提供基礎。 固有的光束平行度確保三種測量基本上不存在餘弦誤差，同時保證傾斜和偏轉測量的轉角精度。 其它特征包括：

• 高性能包裝可節省設置時間，改善系統性能
• 簡單的多軸安裝
• 較高的角分辨率可實現更好的控制
• 寬角度范圍
• 單片光器件可提供最高的機械穩定性
• 預對準的光纖遠程接收機支架
• 參考光器件

10735A 包含 2 個剪切板，可創建 3 條平行光束路徑、3 個角錐棱鏡、1 個參考平面鏡以及 2 個 1/4 波片。

除瞭測量光束圖形之外，10735A 和 10736A 完全相同。

• 應用： 3 種線性平面鏡測量（沿 X 軸位移，沿 Z 軸偏轉，沿 Y 軸傾斜）
• 特點： 1 種線性平面鏡測量和 2 種角度平面鏡測量
• 軸數： 3
• 最大光束尺寸： 9 mm
• 波束分離： 參見技術指標
• 重量： 5.5 千克（12 磅 2.4 盎司）
• 基本光學分辨率： λ/4（158.2 nm，6.2 µin）
• 系統分辨率： 位移 λ/128（5 nm，0.2 µin），偏轉 0.039 arcsec（0.19 µrad），傾斜 0.049 arcsec（0.24 µrad），以 32x 電子分辨率擴展為基礎
• 系統分辨率： 位移 λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），偏轉 0.0049 arcsec（0.024 µrad），傾斜 0.0061 arcsec（0.029 µrad），以 256x 電子分辨率擴展為基礎
• 系統分辨率： 位移 λ/4096（0.15 nm，0.006 µin），偏轉 0.0012 arcsec（0.006 µrad），傾斜 0.0015 arcsec（0.007 µrad），以 1024x 電子分辨率擴展為基礎
• 反射鏡： 10728A
• 所用底座： 定制
• 參考： 支持
• 可調諧配置： 無（僅限於調諧）