商品代碼:1641279

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    10735A 三軸幹涉儀
    商品代碼: 1641279
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    商品詳細說明

    描述

    Agilent 10735A 三軸幹涉儀可用於需要線性和角度控制的多軸測量應用。 它在單一套件中結合瞭光具座功能、多個光束轉向鏡、分光鏡以及三個幹涉儀。 幹涉儀把入射激光束分成三個光束,以便測量直線距離、傾斜和偏轉或直線距離、搖擺和偏轉。 三種線性測量可為兩種角度測量提供基礎。 固有的光束平行度確保三種測量基本上不存在餘弦誤差,同時保證傾斜和偏轉測量的轉角精度。 其它特征包括:

    • 高性能包裝可節省設置時間,改善系統性能
    • 簡單的多軸安裝
    • 較高的角分辨率可實現更好的控制
    • 寬角度范圍
    • 單片光器件可提供最高的機械穩定性
    • 預對準的光纖遠程接收機支架
    • 參考光器件

    10735A 包含 2 個剪切板,可創建 3 條平行光束路徑、3 個角錐棱鏡、1 個參考平面鏡以及 2 個 1/4 波片。

    除瞭測量光束圖形之外,10735A 和 10736A 完全相同。

    • 應用: 3 種線性平面鏡測量(沿 X 軸位移,沿 Z 軸偏轉,沿 Y 軸傾斜)
    • 特點: 1 種線性平面鏡測量和 2 種角度平面鏡測量
    • 軸數: 3
    • 最大光束尺寸: 9 mm
    • 波束分離: 參見技術指標
    • 重量: 5.5 千克(12 磅 2.4 盎司)
    • 基本光學分辨率: λ/4(158.2 nm,6.2 µin)
    • 系統分辨率: 位移 λ/128(5 nm,0.2 µin),偏轉 0.039 arcsec(0.19 µrad),傾斜 0.049 arcsec(0.24 µrad),以 32x 電子分辨率擴展為基礎
    • 系統分辨率: 位移 λ/1024(0.62 nm,0.024 µin),偏轉 0.0049 arcsec(0.024 µrad),傾斜 0.0061 arcsec(0.029 µrad),以 256x 電子分辨率擴展為基礎
    • 系統分辨率: 位移 λ/4096(0.15 nm,0.006 µin),偏轉 0.0012 arcsec(0.006 µrad),傾斜 0.0015 arcsec(0.007 µrad),以 1024x 電子分辨率擴展為基礎
    • 反射鏡: 10728A
    • 所用底座: 定制
    • 參考: 支持
    • 可調諧配置: 無(僅限於調諧)


    新手教學
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