Agilent 10706A 平面鏡幹涉儀是雙通幹涉儀，適用於 X-Y 工作臺等多軸應用。在這些應用中，測量反射鏡可以垂直移動到測量軸。 10706A 的獨特作用是它可以容忍平面反射鏡的角度偏差。 10706A 可接受廣泛的測量反射鏡角度對準變化。

10706A 包括兩個逆向反射鏡（一個作為參考，另一個用於操縱光束路徑）和一個 1/4 波片。 對於 X-Y 工作臺應用，用戶必須提供反射鏡。 對於單軸應用，可以使用 10724A 平面反射鏡。

10706A 可用於通過交換參考逆向反射鏡和 1/4 波片，使光束發生彎曲。 10706A 不能當作移動器件使用。

差分操作要求用 10722A 平面鏡轉換器替代參考逆向反射鏡，並將參考平面鏡連接到感興趣的參考平面。

10706A 使用 10723A 高穩定度適配器，可轉換成 10706B 高穩定度平面鏡幹涉儀。 10706B 在功能上與 10706A 完全相同，但是熱穩定度更為出色。

• 應用： 平面鏡
• 迥然不同的新特性： 平面反射鏡
• 軸數： 1
• 最大光束直徑： 6 mm
• 光束隔離： 12.7 mm（0.5 英寸）
• 重量： 308 g（10.9 盎司）
• 基本光分辨率： λ/4（158.2 nm，6.2 µin）
• 系統分辨率： λ/128（5 nm，0.2 µin），使用 32 倍電子分辨率擴展
• 系統分辨率： λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），使用 256 倍電子分辨率擴展
• 反射鏡： 10724A 或用戶提供
• 使用的安裝架座： 10711A
• 參考： 無
• 可調諧配置： 支持，通過互換部件