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ZN17-3D 共聚焦顯微鏡將白光真彩共聚焦技術和白光幹涉技術的有機結合,是本司尖端光學科技的最新成果,是微納器件,半導體,光伏,光學加工,材料研究方面的最新高端機器。和其他品牌的3D共焦顯微鏡比較具有如下特色:
1, 直接真彩:采用瞭白光光源,可直接獲得樣品表面真實的顏色。無須色彩與形貌的合成處理,避免瞭信息失真。
2, 暗場觀察:可實現光學顯微鏡的暗場觀察
3, 深度(高度)測量精度可達到0.1納米:由於采用瞭相位幹涉(PSI)和掃描幹涉(VSI)技術,測量精度達到瞭納米級。幹涉測量的
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