棋盤格標定板、校正板、外形63X63mm精度0.001MM
棋盤格標定板
外形尺寸（mm） | 方格尺寸(mm) | 外形尺寸（mm） | 方格尺寸(mm) |
63ⅹ63 | 1ⅹ1 | 63ⅹ63 | 2ⅹ2 |
63ⅹ63 | 3ⅹ3 | 63ⅹ63 | 4ⅹ4 |
63ⅹ63 | 5ⅹ5 |
|
|
100ⅹ100 | 4ⅹ4 | 100ⅹ100 | 5ⅹ5 |
125ⅹ125 | 2ⅹ2 | 125ⅹ125 | 5ⅹ5 |
200ⅹ200 | 4ⅹ4 | 200ⅹ200 | 5ⅹ5 |
206ⅹ206 | 3ⅹ3 | 300ⅹ300 | 3ⅹ3 |
300ⅹ300 | 20ⅹ20 | 351ⅹ351 | 1.35ⅹ1.35 |
總長精度：±3.0μm；
圖形尺寸精度：±1.0μm ～±3.0μm
圖形位置精度：±1.0μm ～±3.0μm
線條精度：±1μm；
縫寬均勻度：≤1μm；
最大尺寸：600mm×800mm
棋盤格標定板、校正板、外形63X63mm精度0.001MM
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