LuphoScan是基於MWLI(多波長幹涉)技術的非球面3D幹涉測量系統,它能夠實現超高精度、
非接觸的3D測量,主要用於測量旋轉對稱表面。
應用
1)研究任何的旋轉對稱表面
球面,非球面,平面,自由曲面
2)超高測量精度
PV精度50nm
3)快速測量
對於Ф=85mm(ROC=50mm),測量時間約12min,點密度100/mm2
4)非球面度
無限制
5)靈活性高
測量分段表面,尖頂狀表面或者矩形
6)大口徑
高達350mm
7)幾乎所有材料可測
拋光,粗糙,鏡面,透明,不透明
新手教學
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