Agilent 10716A 高分辨率幹涉儀適用於單軸和多軸測量應用，例如高精度 X-Y 工作臺。 10716A 的分辨率是傳統平面鏡幹涉儀的兩倍，其出色的熱穩定度可與 10706B 高穩定度平面鏡幹涉儀相媲美。 測量結果漂移通常隻有傳統平面鏡幹涉儀的 1/2。 這些特性綜合起來，可以改善精度、可重復性和熱穩定度。 然而，其斜率減半。

10716A 包含一個 10723A 高穩定度適配器（由高穩定度反射鏡和 1/4 波片組成），作為參考；兩個逆向反射鏡，用於操縱光束路徑；以及一個 1/4 波片。 用戶必須提供測量平面鏡，例如 10724A 平面反射鏡。

10716A 選件 001 可用於要求幹涉儀對光束進行調整的光學版圖。

• 應用： 平面鏡，高分辨率
• 迥然不同的新特性： High resolution
• 軸數： 1
• 最大光束直徑： 6 mm
• 光束隔離： 12.7 mm（0.5 英寸）
• 重量： 502 g（1 磅 1.7 盎司)
• 基本光分辨率： λ/8（79.1 nm，3.1 µin）
• 系統分辨率： λ/256（2.5 nm，0.1 µin），使用 32 倍電子分辨率擴展
• 系統分辨率： λ/2048（0.31 nm，0.012 µin），使用 256 倍電子分辨率擴展
• 反射鏡： 10724A 或用戶提供
• 使用的安裝架座： 10711A
• 參考： 無
• 可調諧配置： 支持。 需要選件 001