應用:
Super-Spherotronic, Super-Spherotronic HR, UltraSpherotronic, Compact Spherotronic等都可以應用於下述場合的再生產或者實驗室的曲率半徑測量
• 凹面/凸面光學元件
• 研磨或拋光的光學元件
• 球面及球體
• 對樣板
• 配合專用的測量環,還可以用於圓柱面的曲率半徑測量
Super-Spherotronic HR 精密球徑儀 | | Compact Spherotronic緊湊型球徑儀 |
精密球環及平晶 |
特點:
• 主體結構使用厚重的不銹鋼制造,與檢測頭之間的同心性優於1微米 (0.00004")
• 測量環用經過熱處理的不銹鋼制造並超高精密加工而成,每個測量環都帶有標定數據。測量精度直接溯源於NIST標準
• 支撐球用紅寶石或者碳化鎢制造,避免熱或者機械變形。支撐球同樣精密地同心定位,定位精度優於1微米 (0.00004")
• 采用高精密的Heidenhain編碼器,其誤差小於0.2 微米 (0.000008")
• 用於零位標定的平晶面形精度為:λ/10
• 一套標準測量環直徑范圍為7.8---120mm(其他直徑的根據客戶要求定做)
型號系列:
• Super-Spherotronic HR • UltraSpherotronic • Compact Spherotronic
技術參數:
型 號 | Super-Spherotronic HR 精密球徑儀 | Ultra-Spherotronic 超精密球徑儀 | Spherocompact: 緊湊型球徑儀 |
測量范圍 |
曲 率(凸) | +3.5mm~∞ | +3.5mm~∞ | +2.5mm~∞ |
曲 率(凹) | -6mm~∞ | -6mm~∞ | -4mm~∞ |
線性編碼器行程 | +/- 30mm | +/-30 mm | +/-12.5mm |
被測樣品直徑 | 6~500mm | 6~500mm | 5~500mm |
精度 |
線性編碼器分辨率 | 0.1μm | 0.01/0.05/0.1µm | 0.1μm |
線性編碼器絕對精度 | ±0.2μm | ±0.05μm | +/-0.2μm |
曲率測量精度 | 0.01%. | 0.005%. | 0.05% |
精密球環(選項) | 精密球環 | 精密紅寶石球環(選項) |
標準環直徑分別為:7.8mm、14mm、20mm、28mm、38mm、60mm、90mm、120mm | 標準環直徑分別為:12.5mm、25mm、50mm, 75mm、100mm、125mm |
可選擇:48mm, 75mm, 150mm, 225mm (特殊尺寸需求可訂購) | 特殊尺寸:6mm、150mm、 225mm (特殊尺寸需求可訂購) |
球徑儀使用的精密平晶(選項):Ф30mm λ/10、 Ф50mm λ/10、 Ф100mm λ/5、 Ф150mm λ/3 |