白光幹涉儀
白光幹涉儀的檢測應用
結合光學顯微鏡與白光幹涉儀功能的掃描式白光幹涉顯微鏡，結合顯微物鏡與幹涉儀，不需要復雜的光路調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400μm之微三維量測，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含：
·晶圓（Wafer）
·光盤/ 硬碟（DVD Disk/Haed Disk）
·微機電組件（MEMS Components）
·平面液晶顯示器（LCD）
·高密度線路印刷電路板（HDI PCB）
·IC封裝（IC Package）
·以及其他材料分析與組件微表面研究
高速精密的幹涉條紋解析軟件（ImgScan）
·系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光幹涉條紋。
·垂直高度分辨率可達0.1nm。
·高速的分析算法則，讓您不在苦候量測結果。
·垂直掃描范圍的設定輕松又容易。
·10×，20×與50×倍率的物鏡可供選擇。
·平臺X、Y、Z位置數顯式顯示，使檢測標的尋找快速又便利。
·具有手動/自動光強度調整功能以取得最佳的幹涉條紋對比。
·具有高精度的PVSI與高速的VSI掃描量測模式供7選擇。
·具有專利的解析算法則，可處理半透明物體的3D形貌。
·具有自動補點功能。
·可自行設定掃描方向。
專業級的3D圖形處理與分析軟件（PostTopo）
·提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析。
·提供自動表面平整化處理功能。
·提供階高標準片的軟件自校功能。
·深度/高度分析功能，提供線型分析與區域分析等兩種方式。
·線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（roughness）與起伏度（waviness）的量測分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據。
·區域分析方式提供圖形分析與統計分析。具有平滑化、銳化與數字濾波等多種二維快速傅利葉轉換（FFT）處理功能。
·量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是以Excel文本文件格式輸出。
機臺規格：
型號 | SWIM1510MS | ||
系統配備 | 顯微鏡、掃描控制器、移動平臺、取像單元、個人計算機 | ||
顯微鏡 | 單眼顯微鏡（標準配件） | ||
幹涉物鏡（選配） | 放大率 | 視野（mm） | 光學分辨率（μm） |
10× | 0.5 | 1.12 | |
20× | 0.25 | 0.84 | |
50× | 0.1 | 0.61 | |
影像縮放 | 1.0×（標準）0.5×（選配） | ||
垂直掃描控制器 | 掃描范圍 | 100μm（400μm，選配） | |
掃描分辨率 | 0.1nm | ||
掃描模式 | 自動 | ||
光強度調整 | 自動/手動 | ||
掃描速度 | 12μm/s（最快） | ||
樣品移動平臺 | X-Y平面移動平臺 | 150mm×100mm，手動（標準配件） | |
Z軸移動平臺 | 80mm，手動（標準配件） | ||
位置數字顯示單元 | 三軸光學尺與三軸數字顯示器（分辨率1μm） | ||
偏移調整工作臺 | 手動 | ||
取像單元 | 影像傳感器 | 面型CCD（標準配置） | |
傳感器分辨率 | 640×480像素（標準配件） | ||
計算機配備 | Pentium-computer，17″LCD Monitor，120GB以上 硬碟機 | ||
分析軟件 | MS-Windows兼容的數據攫取與分析軟件，包含ISO粗糙度/階高分析，快速傅利葉轉換和濾波，多樣的2D和3D觀測視角圖，外形分析，圖像縮放，標準影像檔案格式轉換等等。 | ||
階高標準片（選配） | 50nm、170nm、230nm、470nm、1800nm | ||
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