NEXIV VMR-H3030系列
該設備具有極高的精度以及多種多樣的功能，XYZ行程為300×300×150毫米，不僅可以用於各種精密模具、精密零件的測量，還可以作為精密檢測室的主檢測設備使用。 8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進行自由切換，以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有極高的精度，加上其合理的佈局以及堅固耐用的硬件設計，使 NEXIV VMR-H3030 的測量不確定度達到瞭亞微米級，可以滿足精密模具的檢測需求。
1、2、3 型
超高精度，適於用作精密檢測室的主檢測設備；
3個型號（1、2、3 型）各自有 5 級放大倍率，可滿足不同視場及倍率要求；
有多種多樣的照明方式可供選擇，以確保模具邊界準確探測的需求；
較長的工作距離（50毫米），可滿足測量對工件高度方向的空間需求；
高達15倍的變焦比，可以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。與無級變焦機構相比，采用5段、定倍自動變焦機構可以使測量更加快速、準確。
應用領域：
精密檢測室的主檢測設備，模具及精密機械零件測量。
Z120x 型（帶高倍頭）
具有超高精度的載物臺，與高倍頭配合使用，能夠準確測量工件的細微部位（如精密掩膜及芯片凸點高度等關鍵尺寸）光學放大倍數最高可達120x，能夠測量微距線寬；
高速、高精度的載物臺有助於對較大的物體尺寸，進行快速、準確地測量；
可以分別測量刻線的上下寬度；
激光自動掃描功能，可以用來測量芯片上的微小凸點高度以及錫球截面形狀等；
可以對激光掃描所得的截面輪廓形狀進行評估。
應用領域：
各種芯片級封裝、芯片上的凸點高度、各種精密掩膜板等。
精密掩模板
倒裝芯片上的凸點
芯片凸點形貌色標顯示
Nikon 高精密全自動影像量測系統
高精度全自動影像量測系統 VMR1515//VMR-3020/VMR-6555/VMR10080/VMR12072
◎ 載物臺行程： 150x150×150/300×200×150/650×550×150/1000×800×150/1200×7200× 150mm 可供選擇。
◎ Z 軸高精度量測：使用雷射；重現性 0.5μm
◎ 點、線、弧、圓、橢圓、 pitch 量測及特殊形狀量測模式
◎ 五階段放大倍率 18X-270x或36X-540x或72X-1080x
◎ 2.5× 及 5× 輔助鏡解析至 680×~1,375× |
【光源】
（ a ） 底部表面光源
（ b ） TFI-30 ，斜角度之光源 37度 75度
（ c ） Laser TTL 高倍輔助鏡光源
（ d ） TTL 透過透鏡之光纖光源
另可提供彩色屏幕，看實際產品顏色及打印 scan laser 掃描物體輪廓，利用Best Fit求最小公差
程序 copy 功能：位移、角度及影像 copy 方式
可量測 XZ 、 YZ 平面上之弧、角度及輪廓
取點：當工件異位可自動搜索，偵測正確位置
軟件提供聯機作報告表格及統計分析 |
新手教學
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