應用
測試平面、凹面、凸面、小口徑到天文大口徑的各種需要；
長光程測量或者遠程菲索腔測試；
真空/超低溫腔體內器件測試；
測量高速流體、熱力學流場；
應力雙折射誤差的測試；
高精度計量；
可結合ESDI自有的拼接軟件做子孔徑拼接測試；
提供大口徑擴束的動態高精度解決方案；
主要特征和優勢
完全振動隔離；
菲索共光路幹涉技術和遠程菲索腔技術；
曝光時間最小至10微秒；
0.1%-100%反射率可測；
測試精度PV值優於λ/100；
1Kx1K空間分辨率；優於300的條紋分辨率；
標準的光學接口（通用ZYGO標準鏡）；
Auto-SParc技術實現光點自動切換；
全程遙控操作；
新手教學
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