Agilent 10737R 緊湊型右旋三軸幹涉儀可提高精密儀器的定位精度。 其多軸激光器測量功能可對多軸臺進行精密控制。 它能夠測量與控制每個線性和轉角自由度，以便補償多軸臺移動時的機械缺陷。 與 10735A 和 10736A 幹涉儀的功能類似，10737R 提供緊湊型、低成本包裝。 固有的光束平行度確保三種測量基本上不存在餘弦誤差，同時保證傾斜和偏轉測量的轉角精度。 其它特征包括：

• 簡單的多軸安裝和對準
• 快速連接至遠程接收機拾取
• 緊湊型、低成本包裝
• 把測量光束向右轉向

10737R 與 10737L 基本相同，除瞭“L”表示把測量光束向左轉向、“R”表示把光束向右轉向（從入射光束處觀察）之外。

• 應用： 3 種線性平面鏡測量（沿 X 軸位移，沿 Z 軸偏轉，沿 Y 軸傾斜）
• 特點： 緊湊型、低成本的 3 軸測量（線性、傾斜和偏轉）
• 軸數： 3
• 最大光束尺寸： 3 mm
• 波束分離： 參見技術指標
• 重量： 490 克（1 磅 1.3 盎司）
• 基本光學分辨率： λ/4（158.2 nm，6.2 µin）
• 系統分辨率： 位移 λ/128（5 nm，0.2 µin），偏轉 0.07 arcsec（0.35 µrad），傾斜 0.14 arcsec（0.7 µrad），以 32x 電子分辨率擴展為基礎
• 系統分辨率： 位移 λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），偏轉 0.01 arcsec（0.04 µrad），傾斜 0.02 arcsec（0.1 µrad），以 256x 電子分辨率擴展為基礎
• 反射鏡： 平面鏡或角錐棱鏡
• 所用底座： 10711A
• 參考： 無
• 可調諧配置： 支持