Agilent 10705A 單光束幹涉儀是最小的線性幹涉儀，能夠進行小容量或空間受限的單軸測量。 它適合在磁盤驅動器和其他密閉空間應用中使用。 單光束幹涉儀，顧名思義就是因為在幹涉儀與逆向反射鏡之間，輸出光束和返回光束彼此重疊，看上去就好像 隻有一個光束在傳輸一樣。

10705A 包括一個 10704A 逆向反射鏡，用作參考反射鏡；還包括兩個 1/4 波片。 需要另一個 10704A，以構成完整的單光束幹涉儀光學儀器。 10705A 可用於彎曲光束，但不能作為移動器件使用。

差分操作要求移除 10704A 逆向反射鏡並將其連接至感興趣的參考平面。

平面鏡操作要求使用選件 C01（選件 C01 可移除 1/4 波片－－用戶自己不能移除該波片）。 它還要求使用 10704A 逆向反射鏡。

• 應用： 小質量、空間有限
• 迥然不同的新特性： 單光束、非接觸
• 軸數： 1
• 最大光束直徑： 6 mm
• 光束隔離： 無（單光束）
• 重量： 85.5 g（3 盎司）
• 基本光分辨率： λ/2（316.5 nm，12.5 µin）
• 系統分辨率： λ/64（10 nm，0.4 µin），使用 32 倍電子分辨率擴展
• 系統分辨率： λ/512（1.2 nm，0.047 µin），使用 256 倍電子分辨率擴展
• 反射鏡： 10704A
• 使用的安裝架座： 10710B
• 參考： 無
• 可調諧配置： 支持