VI－Vario是一臺微型激光幹涉儀，測量口徑包括：10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm及100 mm，可由用戶選擇。可以垂直、傾斜或水平使用。非常適宜於車間及生產線使用，價格僅為2萬至4萬歐元。
功能包括：
光學平面的平面度測量；
球面度測量
曲率半徑測量（分辨率0.1微米至10微米，可選）
評估方式：
肉眼或軟件輔助（條紋評估軟件）范圍與所需的參考球徑的關系示意圖
技術數據：
激光幹涉儀類型 | FIZEAU條紋評估 |
光源 | HeNe激光器 |
工作波長 | 632.8 nm |
輸出光束直徑 | 10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm或100 mm 根據所選的光管不同 |
測量精度 | λ/10 p-v，肉眼 λ/20 p-v，通過軟件輔助 |
參考平面 | λ/30 p-v，直徑大至50 mm λ/20 p-v，直徑大至100 mm |
參考球面 | λ/10 R25， 直徑10 mm, 16 mm, 28 mm λ/10 R50, 直徑50 mm λ/10 R80， 直徑100 mm λ/10 R120, 直徑100 mm λ/10 R300, 直徑100 mm λ/10 R1000,直徑100 mm λ/10 R1500,直徑100 mm |
新手教學
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