Agilent 10715A 差分幹涉儀能夠在提供的參考平面鏡和測量平面鏡之間執行差分測量。 它提供出色的長期穩定性。 10715A 可最大限度減少死程（deadpath），並且由於通過幹涉儀的整個光路都是共模的，所以它可消除測量中的熱漂移。 它的測量分辨率是線性幹涉儀或單光束幹涉儀的兩倍。

10715A 包括 3 個逆向反射鏡、一個光束轉向鏡和兩個 1/4 波片。 用戶必須提供參考反射鏡和測量反射鏡。

10715A 選件 001 可用於要求幹涉儀對光束進行調整的光學版圖。

• 應用： 平面鏡，高精度
• 迥然不同的新特性： 差分輸出
• 軸數： 1
• 最大光束直徑： 6 mm
• 光束隔離： 12.7 mm（0.5 英寸）
• 重量： 504 g（1 磅 1.8 盎司)
• 基本光分辨率： λ/4（158.2 nm，6.2 µin）
• 系統分辨率： λ/128（5 nm，0.2 µin），使用 32 倍電子分辨率擴展
• 系統分辨率： λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），使用 256 倍電子分辨率擴展
• 反射鏡： 10724A 或用戶提供
• 使用的安裝架座： 10711A
• 參考： 無
• 可調諧配置： 支持。 需要選件 001