| 掃描白光幹涉顯微儀 | | 產品特點及用途 | | 結合光學顯微鏡與白光幹涉儀功能的掃描式白光幹涉顯微鏡，結合顯微物鏡與幹涉儀、不需要復雜光調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含： | ● 晶體（Wafer） ● 光盤/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk） ● 平面電組件（MEMS Components） ● 平面液晶顯示器（LCD） ● 高密度線路印刷電路板（HDI PCB） ● IC封裝（IC Package） 以上其它材料分析與組件微表面研究 | | 專業級的3D圖形處理與分析軟件（Post Topo） | ● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析 ● 提供自動表面平整化處理功能 ● 提供高階標準片的軟件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供線型分析與區域分析等兩種方式 ● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
（waviness）的測量分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據 ● 區域分析方式提供圖形分析與統計分析。
具有平滑化、銳化與數字過濾波等多種二維快速利葉轉換（FFT）處理功能。 ● 量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出 | | | | 高速精密的幹涉解析軟件（ImgScan） | ● 系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光幹涉條紋 ● 垂直高度可達0.1nm ● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結果 ● 垂直掃描范圍的設定輕松又容易 ● 有10x、20x、50x倍率的物鏡可供選擇 ● 平臺XYZ位置數顯示，使檢標的尋找快速又便利 ● 具有手動/自動光強度調整功能以取得最佳的幹涉條紋對比 ● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇 ● 具有專利的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌 ● 具有自動佈補點功能 ● 可自行設定掃描方向 | | | | 檢測范例 |
型號 | SWIM 1510MS | 系統配備 | 顯微鏡、掃描控制器、移動平臺、取得單元、個人計算機 | 顯微鏡 | 單眼顯微鏡（標準配件） | 幹涉物鏡（選配） | 放大率 視野（mm） 光學分辨率（nm） | | 10x 0.5 1.12
20x 0.25 0.84
50x 0.1 0.61 | 影像縮放 | 1.0x（標配） 0.5X（選配） |
垂直掃描控制器 | 掃描范圍
掃描分辨率
掃描模式
光強度調整
掃描速度 | 100 μm 400 μm(選配)
0.1nm
自動
自動/手動
12nm/s（最快） | 樣品移動平臺 | X、Y平面多動平臺
Z軸移動平臺
位置數字顯示單元
偏移調整平臺 | 150mm*100mm,手動（標準配件）
80mm, 手動(標準配件)
三軸光學尺與三軸數字顯示器（分辨率1 μm）
手動 | 取得單元 | 影像傳感器
感測器解析度 | 面型CCD（標準配件）
640*480圖像(標準配件) |
| 電腦配件 | Pentium-Computer,17" LCD Monitor ,120G以上 硬碟 |
分
析 軟 體 | MS-Windows相容的資料擷取與分析軟體包含ISO粗糙度/階高分析,快速付利葉轉換和濾多，多樣的2D和3D觀測視角圖,外形分析,圖像縮放,標準影像檔案格式轉換等等 | | 階高標準片(選配) | 50nm 170nm 230nm 470nm 1800nm |
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