描述
Agilent 10706B 高穩定度平面鏡幹涉儀是雙通幹涉儀,適用於 X-Y 工作臺等多軸應用。在這些應用中,測量反射鏡可以垂直移動到測量軸。 這款熱穩定型光學儀器在功能上可以完全替代 10706A 平面鏡幹涉儀,其溫度測量結果中的漂移可減小到僅為以往平面鏡幹涉儀測量值的 1/12。 10706B 的獨特作用是它可以容忍平面反射鏡的角度偏差。 10706A 可接受廣泛的測量反射鏡角度對準變化。
10706B 包含一個 10723A 高穩定度適配器(由高穩定度反射鏡和 1/4 波片組成),作為參考;一個逆向反射鏡,用於操縱光束路徑;以及一個 1/4 波片。 對於 X-Y 工作臺應用,用戶必須提供反射鏡。 對於單軸應用,可以使用 10724A 平面反射鏡。
10706B 可通過互換參考 10723A 高穩定度適配器和 1/4 波片,以及為 10723A(10706B 中包括的硬件)增添新的安裝和調整硬件,來使光束發生彎曲。 10706B 不能當作移動器件使用。
10706B 不能在差分操作中使用。
10706B 在功能上與 10706A 完全相同,但是熱穩定度更為出色。
- 應用: 平面鏡
- 迥然不同的新特性: 高穩定度
- 軸數: 1
- 最大光束直徑: 6 mm
- 光束隔離: 12.7 mm(0.5 英寸)
- 重量: 323 g(11.4 盎司)
- 基本光分辨率: λ/4(158.2 nm,6.2 µin)
- 系統分辨率: λ/128(5 nm,0.2 µin),使用 32 倍電子分辨率擴展
- 系統分辨率: λ/1024(0.62 nm,0.024 µin),使用 256 倍電子分辨率擴展
- 反射鏡: 10724A 或用戶提供
- 使用的安裝架座: 10711A
- 參考: 無
- 可調諧配置: 支持,通過互換部件
新手教學
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