商品代碼:1297217

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    白光幹涉儀
    商品代碼: 1297217
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    商品詳細說明
    AE-100M
     產品用途
         結合光學顯微鏡與白光幹涉儀功能的掃描式白光幹涉顯微鏡,結合顯微物鏡與幹涉儀、不需要復雜光調整程序,兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點,可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量,適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含:玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。
     產品特點
    ● 奈米深度3D檢測
    ● 高速/無接觸量
    ● 表面形狀/粗糙度分析
    ● 非透明/透明材質皆適用
    ● 非電子束/非雷射的安全量測
    ● 低維護成本
     專業級的3D圖形處理與分析軟體(Post Topo)
    ●  提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
    ●  提供自動表面平整化處理功能
    ●  提供高階標準片的軟件自校功能
    ●  深度/高度分析功能提供線型分析與區域分析等兩種方式
    ●  線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(Rorghness)與起伏度
    ●  (waviness)的測量分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據(Wafer)
    ●  區域分析方式提供圖形分析與統計分析
    ●  具有平滑化、銳化與數字過濾波等多種二維快速利葉轉換(FFT)處理功能
    ●  量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
     高速精密的幹涉解析軟件(ImgScan)
    ● 系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光幹涉條紋
    ● 垂直高度可達0.1nm
    ● 高度的分析算法則,讓你不在苦候測量結果
    ● 垂直掃描范圍的設定輕松又容易
    ● 有10x、20x、50x倍率的物鏡可供選擇
    ● 平臺XYZ位置數顯示,使檢標的尋找快速又便利
    ● 具有手動/自動光強度調整功能以取得最佳的幹涉條紋對比
    ● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇
    ● 具有專利的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌
    ● 具有自動佈補點功能
    ● 可自行設定掃描方向
     技術規格參數
    型號AE-100M
    移動臺(mm)平臺尺寸100*100 ,行程13*13
    物鏡放大倍率10x20x50x
    觀察與量測范圍0.43*0.320.21*0.160.088*0.066
    光學分辨力(um)0.90.690.5
    收光角度(Degrees)172333
    工作距離7.44.73.4
    傳感器分辨率640*480像素
    機臺重量(kg)/載重kg20kg/小於1kg
    Z軸移動范圍45mm , 手動細調
    Z軸位置數字顯示器分辨率1um
    傾斜調整平臺雙軸/手動調整
     高度測量
    測量范圍100(um)(400um ,選配)
    量測分辨力0.1mm
    重復精度≤ 0.1% (量測高度:>10um)
    ≤10um(量測高度1um 10um)
    ≤ 5nm(量測高度:<1um )
    量測控制自動
    掃描速度(um/s)12(最高)
     光源
    光源類型儀器用鹵素(冷)光源
    平均使用壽命1000小時100W 500小時(150W)
    光強度調整自動/手動
     數據處理與顯示用計算機
    中央處理運算屏幕雙核心以上CUP
    影像與數據顯示屏幕17 " 雙晶屏幕
    操作系統Windows XP(2)
    電源與環境要求AC100 --240 V 50-60Hz
    環境震動VC-C等級以上
     測量分析軟件
    量測軟件ImgScan具VSI/ PVS/PSI 量測模式(PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配)
    分析軟件PosTopo

    ISO 粗燥度/階高分析,快速傳利葉轉換和濾波,多樣的2D和3D
    觀測視角圖,外形/面積/體積分析,圖像縮放、標準影像文件格式轉換
    報表輸出,程序教導測量等。



    新手教學
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