產品介紹
激光幹涉測量具有極高的精度,是測量科學中重要的手段之一,幾十年來已經在各行業有著廣泛的應用。一單頻幹涉測量儀相比,基於外差技術的雙頻機關幹涉測量儀具有抗幹擾性好,工作穩定的有點,是高精度測量行業首選的測量手段。清華大學推出的LH2000型雙頻激光幹涉儀,擁有自主知識產權,及時指標達到國外同等水平,是測量行業用戶的可靠選擇。
應用場所
數控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準、光刻機校準、振動測量等。
系統特點
1采用氦氖雙頻激光進行測量,抗幹擾性好
2頻差達7MHZ±1Mhz,測量速度最高可達2m/s
3結構簡單,方便易用
4自動環境補償,保證測量精度。
5擁有自主知識產權,售後保障可靠
6可根據客戶需奧提供系統解決方案
規格參數
激光頭尺寸 330*110*130mm
激光頭重量 3.3Kg
激光工作波長 632.8nm
激光功率 0.5-1mW
激光光束直徑 5mm
頻差 7Mhz±1Mhz
工作溫度范圍 0℃-+40℃
系統組成 激光頭、光學組件 、補償傳感器、 筆記本電腦、連接電纜
激光穩頻精度 1*10-8
線性測量范圍 10m
線性測量精度 1*10-6】
分辨率 1nm
最高測量速度蘇 2m/s
可定做更高頻差
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