產品特點及用途 |
| 結合光學顯微鏡與白光幹涉儀功能的掃描式白光幹涉顯微鏡，結合顯微物鏡與幹涉儀，不需要復雜光路調整程序、兼顧體積小、納米分辨率、、易學易用等優點、可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含： |
| ★ 晶圓（Wafer） ★ 光盤/ 硬碟（DVD Disk/Hard Disk） ★ 微機電組件（MEMS Components） ★ 平面液晶顯示器（LCD） ★ 高密度線路印刷電路板（HDI PCB） ★ IC封裝（IC Package） 以上其它材料分析與組件微表面研究 |
新手教學
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