球面幹涉儀，標準口徑為Φ60mm/Φ30mm，標配的球面標準鏡頭為F0.75，可選購的型號包括F1.0，F1.5，F2.0，F3.3，F5.6等，可定制其他F數的鏡頭。

主要用途： 球面類光學元件（包括各類玻璃、塑料透鏡、球面反射鏡、光圈量規、球面軸承等）表面光圈、局部形變的測量，球面曲率半徑的測量（配合光柵尺）。

1、儀器規格參數表

2、球面鏡頭規格表

（註：標準鏡頭詳細的性能參數見幹涉儀附件部分）

3、球面鏡頭選配圖

選配要點：

4、儀器特點：

標準鏡頭采用優良的光學、機械設計，並經過高精度裝配，性能優異，精度可靠；

可通過切換開關選擇對準與幹涉場兩種顯示模式，方便調整；

可調節共軛成像位置，得到清晰、準確、真實的幹涉條紋；

儀器具備良好的隔振性能，適合光學加工現場使用；

儀器采用正立式結構，通用載物臺設計，適合對多品種的元件行表面光圈及局部光圈的檢驗。

5、儀器操作流程：

5.1、基本操作

開機後穩定15分鐘，使激光器模式穩定。

根據待測面曲率半徑選擇合適F數的鏡頭，通過螺紋方式將其旋轉固定在調整架上，然後將儀器右側的轉換開關切換至“對準調整”顯示模式，把鏡頭標準面反射光點調整至十字叉絲中央。

將待測元件放置於載物臺上，將轉換開關切換至“幹涉圖”顯示模式，調整載物臺z軸高度，視場中會出現一個帶條紋的光點，此時調節載物臺上的xy軸平移旋鈕，使光點位於視場中心，然後繼續沿z軸方向調節載物臺（若光點不斷變大或不斷向視場外側移動，則z軸調節方向正確，反之需反方向調節），直到光點變為幹涉圖，充滿整個視場，此時將緊固手輪鎖緊。
調整載物臺x、y方向平移，使條紋數量減少；並調節z軸微調旋鈕，使條紋變直。重復進行上述步驟，直到調出滿意的幹涉條紋為止（建議3～5條）

依據GB 2831-81（光學零件的面形偏差檢驗方法），並結合我們為客戶特別制作的“幹涉圖與波像差對比圖”（見附錄），進行條紋判讀。需要提醒的是，球面面形檢驗一般隻能測試局部光圈，離焦量主要來自調試誤差，不應計入面形畸變。

5.2、特殊操作

測量表面光圈之前首先要做標定，把光圈量規（即球面樣板）放置於載物臺上，采用上述步驟進行調整，確保視場內幹涉條紋沒有任何彎曲；然後在相同條件下放置待測元件，此時幹涉條紋的彎曲量即表征瞭待測表面的光圈值。

球面曲率半徑必須在安裝光柵尺的幹涉儀上才能測量。分別調整出貓眼位置（即標準鏡頭的焦點位置）和齊明位置（當待測球面球心與標準鏡頭焦點重合時的位置），兩個位置之間的距離即為球面的曲率半徑。

通過調整標準鏡旁邊的“共軛調節旋鈕”，使幹涉圖清晰的顯示在監視器上。儀器在出廠之前已經校正到最佳成像位置，一般情況下不需要進行重新調整。

新手教學

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