產品簡介

PR系列白光幹涉三維形貌儀是采用日本尖端技術研制開發的高精密測量儀器，該儀器擁有多項國內發明專利。儀器采用白光幹涉原理，測量樣品表面微細形狀分佈。是綜合運用光電子技術、微弱信號檢測技術、精密機械設計和加工技術、數字信號處理技術、應用光學技術、精密控制技術、計算機高速采集和控制技術、高分辨圖形處理技術等現代科技成果的光、機、電一體化的高科技產品。為使用者提供高精確度、高解析度、快速、非接觸的三維形貌測量。可以快速測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸至納米級別。操作方便快捷、應用范圍廣泛。儀器分高精度型(PR06系列)和標準型（PR05系列），滿足用戶不同級別的測量需求。

產品特點

非接觸測量避免被測件受損
高速度測量最高可達97μm/s
高精度測量垂直解析度0.1nm，水平解析度0.43um
高穩定測量標準臺階重復測量性≤1% @1σ
大面積測量自動縫合的大范圍型號可供選擇
專利技術的解析算法
透明膜形狀測定功能
友好的人機界面PuruiVision應用軟件功能強大
多參數選擇可以測量三維形貌、粗糙度等指標
適用范圍廣可以測量多種類型樣品的表面結構
真正意義上的免維護設備
優良的性價比 

應用領域

精密機械加工表面/半導體矽片及設備/MEMS裝置表面/磁數據存儲設備/先進材料/光電精密制造/金屬摩擦學/薄膜陶瓷等表面/聚合物和生物材料/光學器件表面

性能參數表

測量實例

新手教學

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