整體五軸位移臺02TM522（L）
特點：
l 結構緊湊，體積小巧，實現三維平移，旋轉和俯仰共五軸調整；
l 左右手成對設計，方便操作；
l 線性導軌+滾珠，運動舒適；
l 雙彈簧復位，消除空回；
技術指標
型號 | 02TM532（L） |
調整維數 | 五維 |
驅動方式 | 測微頭 |
驅動位置 | 中心 |
導軌 | 線性導軌+滾珠 |
三維平移行程 | 13mm |
旋轉和俯仰范圍 | ±5º |
最小刻度 | 0.01mm |
精度 | 0.001mm |
直線度 | 0.003mm(單軸) |
擺動誤差 | ＜20＂ |
自重 | 2.1kg |
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