MF
176 系列 — 測量顯微鏡
MF 測量顯微鏡具有可擴展性,如與三豐Vision Unit 一起使用可提高其性能,或者可在PC 中進行數據管理,從而確保提高效率。
特點
• 亮視場觀察、清晰的無閃爍的正像、以及寬闊的視場范圍。
• 長工作距離目鏡,倍率可達100x (總倍率:2000x)。
• 透射照明孔徑光闌和反射照明系統為標準性能配置。快速釋放系統,特別適用於長行程測量。
• 微調/粗調立柱兩側的加緊裝置,進行聚焦和測量。
• 調零開關(X 軸和Y 軸) 也位於操作臺手柄的附近。
• 可將Vision Unit 升級為視像測量系統。
性能參數
型號 (XY 工作臺尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
貨號MF-A 176-561* 176-562* 176-563* 176-564* 176-565* 176-566*
MF-B 176-581* 176-582* 176-583* 176-584* 176-585* 176-586*
XY 工作臺移動范圍50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 軸移動范圍150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
調焦方式手動調焦(粗調焦:10mm/rev、微調焦:0.1mm/rev)
測量方法線性編碼器(2 軸型:X / Y 軸、3 軸型:X / Y / Z 軸)
分辨率 (可轉換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
測量精度(20ºC 時) XY 軸:(2.5+0.02L)μm, L 為無負載測量長度(mm), JIS B 7153
指示精度(20ºC 時) Z 軸:(5+0.04L)μm, L 為測量長度(mm)
浮動功能帶有快速斷開功能的X 和Y 軸
XY 工作臺臺面尺寸280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
載物玻璃有效尺寸180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋轉功能— — — ±5º (左) ±5º (左) ±3º (左)
最大工件重量10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
最大工件高度150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 為區分交流電源電壓,在貨號後加上以下後綴(如:176-561A):
A 適於UL/CSA, D 適於CEE, E 適於BS, DC 適於中國、K 適於EK,無後綴適於JIS/100V
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