日本SIGMA KOKI西格瑪光機最新系列大全
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日本SIGMA KOKI西格瑪光機壓電陶瓷平臺物鏡驅動器SFS-OBL-1
特征:
它采用壓電陶瓷作為驅動器,並內置瞭小位移傳感器。
小巧,高速,高分辨率的納米級定位裝置。
具有小於1nm 的理論分辨率,行程大約為100μm。
SFS-OBL-1 是一款最適用於實驗或研究用途的小型,高精度的物鏡驅動器。SFS-OBL-2 是一款耐久性好,高精度的壓電陶瓷物鏡驅動器,適用於高速檢測,激光加工機,工業自動化生產線。
FINE-01/503 控制器可控制此平臺。
具有RS232C,GP-IB,USB 接口,可方便地實現計算機連接。
采用獨自開發的應用軟件SGMMCS,SGTERMS,SGSFSX,可方便地實現精密測量和精密定位。
適用於如掃描型幹涉機,表面結構分析,自動調焦系統,共焦顯微鏡,生物和半導體測試裝置等。
隻要交換一下適配器,就可和奧林巴斯,尼康,三豐等的物鏡互換。
不同類型的顯微鏡,有時其安裝方法也有所不同。
在您垂詢時,請一定告知我們您所用顯微鏡的制造廠商名稱,型號以及物鏡型號和安裝寸。
規格:
對應鏡片直徑mm | 重量【kg】 | 理論分辨率(開環時)【nm】 | 分辯率(閉環時)【nm】 | 直線性誤差(%) | 直線度水平方向Xy,Xz,Yx,Yz【um】 | 重復定位精度【um】 | 承載能力【kg】 | 微小變換檢測 | 調節器 | 型號 | 外形尺寸(mm) |
¢20.23 | 0.15 | 1 | 10 | 0.3以下 | 1以下 | 0.1以下 | 2 | 數顯檢測 | 壓電石英晶體 | SFS-OBL-1 | 75x52.5x42 |
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