渦輪分子泵對於大分子量的氣體，如對那些碳氫化合物分子的壓縮比是相當大的，一般高於1012。這個比值根據不同泵，以及不同分子量而不同，由於前級泵的不同和其它因素，渦輪分子泵的前級管道中的碳氫化合物的分壓力在10- 4 Torr（13.33 mPa）～10- 6 Torr（133.3 Pa）之間，在這種條件下，在泵的入口處碳氫化合物的分壓力將低瞭1012 倍，即為10- 16 Torr（13.33 fPa）或更低。這樣幾乎是無限小的壓力，已超出瞭可測量的范圍，即使最靈敏的質譜機也難以測出。 當渦輪分子泵關閉或運轉極慢時，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內壓力梯度）來阻止前級側存在的碳氫化合物通過渦輪葉片向真空室進行返流。這種現象稱作反擴散或分子返流。在靜態條件下，整個系統的壓力均衡時，在前級管道側， 油的分壓力通常為10- 4 ～10- 6 Torr （ 或13.33mPa～133.3 Pa）最後也會波及到泵的入口處。當泵關閉時，適當地給泵內充氣是控