緊湊型設計：標準單臺三管（二管，四管可選），減少占地麵積。
各種氣體精確控製流量：數字式MFC的運用，比模擬式的控製精度提高，還消除瞭模擬傳輸的乾擾。保證工藝生產的穩定性。
系統控製：全進口零部件，自動壓力閉環調節系統，精確控製反應室內真空環境。
高頻電源：進口高頻電源穩定可靠。
送片方式：高定位精度和穩定的軟著陸裝置。采用伺服馬達驅動滾軸絲桿，運行平穩可靠，無爬行。推舟速度在5-1000mm/min內無級變化。
封門系統：密封的爐門設計，有效減少爐內熱量的損失，並減少瞭溫度恢復時間。與裝載區隔離，保證裝載區無污染，避免操作人員受有毒氣體的損害。
管路：工藝管路采用進口閥門管件組成--氣密性好，耐腐蝕，無污染（管路均采用PE級電拋光管路）。
自動裝載機械手（可選）。
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