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無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控製的基礎。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2裡麵，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，並將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。
標準
世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯邦政府頒佈的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級隻用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小於或等於1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大於75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大於35顆/立方英尺)
間隔：
萬級無塵室[2] 隔間分為三大部分,更衣室,千級區和百級區,更衣室與千級區, 千級區和百級區均設風淋室(airshower), 無塵室與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入無塵室時,首先要經過風淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入無塵室的灰塵. 傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果.
風系統流程圖
系統采用的是全新風空調箱+FFU系統.
<1>全新風空調箱結構
<2>FFU:(FAN FILTER UNIT) 即風機和過濾器
千級區過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%
水系統水系統流程圖(現場畫)
冰水系統分為一次側和二次側.
一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給乾盤管系統.
一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.
板式換熱器原理(現場畫圖).
乾盤管:不結露的盤管,因無塵室溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入無塵室,所以進乾盤管的冰水溫度在12-14度.
控製系統(DDC)
溫度:乾盤管系統控製
濕度:空調箱調節通過感測的信號,控製三通閥開度來調節空調箱盤管進水量
正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量.
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