型號 | XPT 800 ( 單開門，真空腔室700×700×780） | |||
真空機組 | 分子泵1臺+羅茨泵1臺+機械泵1臺(可選) | |||
極限壓強 | 6.0×10-4Pa | |||
抽速 | 從大氣壓到6×10-3≤20min | |||
工件驅動 | 柔性傳動，主軸采用磁流體，整體轉臺可用配套工具車推入拉出 | |||
加熱系統 | 鎧裝加熱器，加熱至550℃，連續轉動60分鐘無故障 | |||
可鍍膜尺寸 | Φ400×500mm | |||
弧源種類 | 12套Φ100間冷多弧靶 | 電磁線圈控制磁場 | 靶材表麵刻蝕更加均勻 | |
偏壓電源 | 0-1000V | |||
| 真空測量系統 | 一臺皮拉尼(MKS) 一臺冷陰極(MKS) 一臺薄膜規(MKS) | |||
氣路系統 | 四路MKS質量流量計獨立控制 | |||
設備總功率 | 50KW~140KW | |||
水冷卻系統 | 冷卻循環系統 | |||
控制系統 | 手、自動操控系統，可完成設備流程設定及數據采集記錄等各項工作。 | |||
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