商品代碼:3465700

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    EXT 渦輪分子泵
    商品代碼: 3465700
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    商品詳細說明

          BOC Edwards EXT泵適用於除最苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。STP系列愛德華真空泵使用電磁軸承,EXT系列一般使用球形氮化矽陶瓷軸承和磁軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點,以及壽命長、小振動的優點。由於軸承滾珠和軸承座使用瞭不同材料,防止瞭微小凹陷而提高可靠性。
            BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵可以通過TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器將渦輪控制和機器控制合二為一,使用起來更加方便。OEM或有電源的最終用戶可以使用EXC控制器在自己的系統中控制EXT渦輪,這可以降低成本。另外還具有如下優點:無油(渦輪分子泵不產生碳氫化合物污染);低維護(無軸承接觸,無機械磨損);低振動(比一般軸承的振動低一個數量級);減少冷卻(對許多應用來說自然冷卻即可);定位任意(可以安裝在任意位置)。

     BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵功能和優勢:  

    1. 高臨界前級壓力                                                                                EXT分子泵

                                                                                       
    2. 大容量流速(快速抽氣性能)
    3. 多級 Holweck 分子牽引機制為輕氣體提供瞭高壓縮量
    4. 極限真空 <10-10 mbar
    5. 經驗證的 EXT 性能和可靠性
    6. 混合軸承配置
    7. 免維護 – 儲油器永久密封
    8. 機加工整體轉子
    9. 直流電機驅動

     

     BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵應用:

    適用於在要求清潔的高真空和超高真空的機器及設備上使用。也可用來作為離子泵、升華泵、低溫泵等氣體捕集超高真空泵的前級預抽真空泵使用,這將獲得更低的極限壓力或更清潔的無碳氫化合物的真空環境。

     

     BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵技術參數:

    主入口法蘭DN160ISO-K/DN160CF
    出口法蘭DN25NW
    排氣/吹掃口1/8 英寸 BSP
    進氣口抽速*(壓縮比)
      N2540 ls-1 (>1010)
      He580 ls-1 (108)
      H2500 ls-1 (106)
      Ar510 ls-1 (>1010)
    極限壓力(CF 型)<10-10 mbar
    推薦的前級泵RV12/nXDS10i
    最大連續進氣口壓力(N2、He、H2)**
      強制空氣冷卻,30 °C 環境溫度1 x 10-3 mbar
      強制空氣冷卻,35 °C 環境溫度5 x 10-4 mbar
      15 °C 時水冷卻2 x 10-3 mbar
    標稱旋轉速度50000 rpm
    到 90% 速度的啟動時間
      EXC3006.5 分鐘
    冷卻方法強制空氣/水
    強制空氣冷卻的環境空氣溫度0 °C - 35 °C
    推薦的冷卻水流速15 lh-1
    (15 °C 水)
    水溫范圍10 - 20 °C
    最高入口法蘭溫度80 °C
    操作姿態垂直且豎直,
    直到水平
    1 米處的噪音級別<60 dB(A)
    最大軸向磁場 <7 mT
    最大徑向磁場<3 mT
    推薦控制器EXC300
    靜止功耗35 W
    電源供給電壓
    電源供給頻率 (EXC250/300)47 – 63 Hz
    泵的最大輸出功率
    EXC300290W
    重量
    EXT556H ISO/CF13.4/21.2 kg
    EXT556HF ISO/CF19.3/20.5 kg
    EXC3004.6 kg


    * 不帶入口篩網時的測量值。配有入口篩網可能會使速度降低多達 20%
    ** 前級壓力 <0.3 mbar。高於此入口壓力時,轉速會下降



    新手教學
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