半導體、微電子、LED行業超純氣體純化器

美國Entegris NH3,H2,N2氣體純化器

氣體純化器定從分子水平將氣體中的雜質去除的一種產品。例如將氧氣從氮氣中除去。其工作原理主要是化學反應，化學吸附和物理吸附。將氣體純化從 ppm 等級提高到 ppb 或 ppt 等級

2005年8月Entegris和Mykrilis(以前的Millipore微電子部門)完成合並成為目前的Entegris， 是全球在半導體及其他高技術工業中為特殊材料提供完整的純化、過濾、保護和輸送方案及材料的領導者。

提供連續高流量的被純化氣體，去處氣態污染物到PPT（萬億分之一）水平。

1. 純化N2、H2、NH3、CDA氣體到ppb級, 氣態污染物可以處理到ppt級;
2.額定處理流量范圍：（120SLPM – 20000SLPM）7.2M3/hr - 1200 M3/hr;
3.雜質顆粒的過濾效果: 0.003um;
4.自動在線再生, 連續純化, 未純化氣體不會進入工藝點;
5.斷電也可以繼續純化: 斷電自動切換成僅通過備用在線純化器純化;
6.設備正常運轉消耗少: 常溫純化,非再生時消耗電力50-100W; 再生時最大消耗電力1000W,消耗少量N2和H2氣體;
7.操作簡單直觀: 彩色觸摸屏操作;
8.安裝簡單: 掛壁或落地室內安裝;
9.基本無維護需要;
10.符合CE、SEMI S2規范；

如有需求，歡迎來電咨詢合作！;

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