該機組具有抽速大，極限真空高，維護方便，特別適合真空鍍膜歡迎使用。

一、       概述

本機組是專為需要獲得高真空的場合而設計。

二、       機組組成部分：

1、2XZ-4C雙級旋片真空泵     一臺

2、K-100擴散泵             一臺

3、SB-100冷阱               一件

4、FS-108真空室             一件

5、KF-25波紋管              二件

6、KF-25三通   彎頭       各一件

7、DYC-25電磁壓差閥       一件

8、GI-100手動蝶閥           一件

9、GI-32手動蝶閥           二件

10、ZDZ-5210B復合真空計   一臺

11、100.4S配套電控箱     一臺

12、公共機架             一副

13、法蘭、管道、緊固件   適配

三、       主要技術指標

1.機組外形尺寸（長×寬×高）：           545×525×940

2.旋片泵抽速：                               4 L/S

3.旋片泵極限真空：

1）開氣鎮：                     優於6×10^-1Pa

2)關氣鎮：                       優於6×10^-2Pa

4.旋片泵功率：                           0.55 kw

5.擴散泵加熱功率：                         0.6 kw

6.系統極限真空：                       ≤6.7×10^-4Pa

7.系統抽氣速率：                           300 L/S

8.使用電源：                        單相220 V   50 Hz

四、           系統說明：

本系統由一臺K-100油擴散泵(圖中P1), 一臺2XZ-4C旋片泵(圖中P2)，一隻DYC-JQ25電磁真空帶充氣壓差閥（圖中V4），二隻GI-32手動蝶閥（圖中V2、V3），一隻GI-100手動蝶閥（圖中V1），一些管道和波紋管組成。本系統具有抽速大、抽氣時間短、噪音低、振動小、移動方便、外形美觀等特點。

系統示意圖 (見單頁系統圖)                

五、       操作規程

1. 開機前，仔細閱讀各泵的使用說明書，並按說明書檢查各泵，無誤後接通

電源，調整好擴散泵冷卻水量、水溫（水溫≤15℃）。

1. 機組首次使用時首先確保系統所有閥門處於關閉狀態！

開旋片泵，電控系統會自動打開V4閥，手動打開V2、V3閥，當系統壓力和擴散泵泵內壓力小於30Pa後，接通擴散泵加熱絲電源,預熱時間約為30分鐘，當系統壓力和擴散泵泵內壓力小於5Pa後，關閉V2閥，打開V1閥進行接系統工作，直至滿足工藝使用要求！

備註：機組初次使用時當系統壓力小於5×10^-2Pa後，進行系統高真空除氣（按下復合真空計除氣按鈕，除氣時間廠傢已經設置好，如無特殊情況請勿調整）直到滿足系統要求。

1. 連續性使用：當上一次使用完後，緊接著進行下一次工作（<1h），兩臺泵都無需停，關閉V1、V3閥，打開V2閥，進行接系統工作，當系統壓力小於5Pa後，打開V3閥，關閉V2閥，打開V1閥，直到滿足系統要求。                                                            
2. 系統停止工作：關閉V1閥，切斷擴散泵加熱電源，待擴散泵完全冷卻後（約≤25度），關閉V3閥，切斷旋片泵電源，擴散泵冷卻水源。
3. 間隔一段時間（＞1小時）不使用後，如需要重新使用設備，可按上述順序重復操作。

警告：擴散泵在加熱使用過程中嚴禁斷水使用！

六、       機組的維護及保養

1. 旋片泵、擴散泵的維護與保養，參看旋片泵與擴散泵的使用說明書。
2. 定期檢查各閥門及泵的工作狀況。擴散泵的爐盤必須緊貼泵底。

七、       附錄清單

1. 2XZ-4C旋片泵使用說明書                      一份

2. K-100擴散泵使用說明書                       一份

3.JK-100.4S機組使用說明書                       一份

4.產品合格證                                   一份